當前國際上主流的高穩定性壓力變送器和差壓變送器主要有金屬電容式、單晶硅諧振式和單晶硅電阻式三種類型，昌暉儀表在本文對市場上這三種主流的壓力變送器技術做介紹。
金屬電容式壓力變送器技術
金屬電容式壓力變送器技術是第一種，以美國工廠研發和生產的3051金屬電容式壓力/差壓變送器為代表。它的工作原理為：外界壓差傳遞到內部的金屬電容極板，當極板發生位移后即產生電容量的變化，將這種電容量的變化通過電子電路收集、放大和軟件補償處理后，就得到壓力信號的線性輸出。金屬電容式傳感器技術由20世紀80年代開始就引入中國大陸以后，在國內得到了大規模的使用和推廣。國內儀表制造商經過多年的研究和探索，至21世紀初多數廠家開始將這種變送器進行了小型化處理，體積大幅縮小，并且由模擬電路逐漸轉變為了數字電路，最終實現準確度等級從0.5級提升到了0.1級，但這種改進沒有根本性改變傳感器的結構。后來美國羅斯蒙特工廠生產的新系列變送器，在原型號的基礎上進行了改進，實現了結構隔離、懸浮、電路可靠性提升等大量的實質性改進，其測量穩定性較高，但是由于傳感器采用的是金屬電容結構件，其測量回差、靜壓性能上存在著一定的限制。
單晶硅諧振式壓力變送器技術
單晶硅諧振式壓力變送器技術是第二種，是由日本橫河工廠研發和生產的單晶硅壓力、差壓變送器為代表。其工作原理為：外界壓差傳遞到內部的單晶硅諧振梁，諧振梁在壓力的作用下產生了一對跟隨壓力變化的差動的頻率信號，將這對差動的頻率信號通過電子電路收集、放大和軟件補償處理后，就得到壓力信號的線性輸出。日本單晶硅諧振式變送器技術，較之美國電容式傳感器其生產過程中的制造成本控制有一定的優勢。主要的優勢體現在溫度和靜壓補償環節中，即：雙諧振回路的原始差動信號輸出，而此差動信號不受溫度和靜壓的影響。因此，對于變送器的溫度零位補正操作較為簡便。但是由于放棄了對量程下的溫度補償，因此其量程精度略受影響。代國內川儀橫河生產的EJA系列變送器就屬于這種技術。
單晶硅電阻式壓力變送器技術
單晶硅電阻式壓力變送器技術是第三種，以德國、瑞士制造為代表的單晶硅電阻式壓力、差壓變送器為代表，也是目前昌暉儀表制造有限公司壓力變送器采用的技術，其單晶硅壓力變送器工作原理為：外界壓差傳遞到內部的單晶硅全動態的壓阻效應惠斯頓電橋。惠斯頓電橋在壓力的作用下產生一個跟隨壓力變化的電壓信號輸出，將這個電壓信號通過電子電路收集、放大和軟件補償處理后，就得到壓力信號的線性輸出。
這種單晶硅電阻式傳感器的輸出靈敏性高、信號量大、回差極小，并且電路設計較為簡潔可靠。因此，國際上較多變送器制造廠商優先采用此方案進行高端變送器的研發和制造。較之金屬電容式傳感器和單晶硅諧振式傳感器，單晶硅電阻芯片的應用具有較為特殊的工藝要求，主要表現在 硅芯片的無應力封裝技術和硅薄膜的單向過載保護技術方面。
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